选配：

1、激光器：（以下激光器的两种或者多种）、二氧化碳激光器、固体激光器（1064、532、355、266、213nm；1030、515、343nm可

选）、准分子激光器（波长308、248、193、157nm可选）、飞秒激光器（800、400、266nm；1028、514、343、257nm可选）、各种

光纤飞秒激光器。

2、多光路切换：同一种激光器还可以出基频、二倍频、三倍频、四倍频切换输出，或者多路输出。

3、各种光束整形器件：光斑匀化器件、S波片、空间光调制器、贝塞尔光束、高斯转平顶等。

4、振镜、旋切头：大尺寸加工，高深径比孔，倾斜孔等。