准分子激光剥离系统
发布时间: 2023-04-11 09:48
Ex-Power是新一代准分子激光剥离系统。采用了高稳定性的准分子激光器作为光源，通过精密的光学系统设计，在光束传导过程中，对激光光斑进行整形和匀化，并通过专用的投影物镜，将激光均匀照射在材料表面。该系统具备结构紧凑、光斑匀化效果好、传输效率高、能量密度大等优势。将紫外准分子激光技术和高精度的机械运动系统相结合，大大提高了激光剥离的质量和效率，非常适合工艺研发和批量工业生产。
| 技术特点： | 应用领域： | 光束传播特点： |
1、193/248/308nm 激光器，短脉宽，高峰值功率； 2、静态气体寿命 >30 天； 3、激光器寿命 >5亿次脉冲； 4、最高能量密度10J/cm²； 5、多种光路方案，可定制； 6、同轴机器视觉示意图，所见即所得，反射/透射同轴照明； 7、X，Y位移台安装在刚性花岗岩基座上，线性驱动，±1mm精度； 8、电动焦点控制（沿 Z 轴）； 9、配有同轴和离轴相机，模式识别软件可选； 10、功能全面，易于操作的专用加工软件；
| 1、LED 蓝宝石衬底剥离； 2、薄膜选择性去除； 3、柔性屏与玻璃基板剥离； 4、微流控； 5、柔性电路板加工； 6、玻璃表面微结构； 7、MiniLED剥离； 8、MircoLED剥离巨量转移； 9、激光修复； 10、晶圆与载体激光解键合；
| 1、能量控制范围 10-80% ； 2、缩倍比 4x-20x ； 3、焦距 25mm~150mm； 4、目标能量密度 0.25-10J/cm² ；
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| Gan 外延片剥离蓝宝石基板扫描电镜分析 | 准分子激光传输/照明/机器视觉系统示意图 |
 
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| 光路结构示意图 | 加工监控界面-所见即所得 | 加工控制界面-参数可调 |
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| COMPex 准分子激光器 |
COMPex准分子激光器是一种高效的光源，设计紧凑，易于安装和操作。在要求很高的应用中提供了优越的结果，如脉冲激光沉积 (PLD)、晶片剥离、激光剥离技术 (LLO)、固体采样 (LA-ICP-MS)、线剥离和 FBG 写入。具有陶瓷预电离，COMPex提供数百毫焦耳输出，加上无与伦比的脉冲稳定性。COMPex还配备了一个改进的气体处理器，延长了气体和光学的使用寿命。 
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参数： |
波长 | 193nm / 248nm / 308nm |
脉冲宽度 | 5-20ns |
单次剥离尺寸 | < 0.2x0.2mm方光斑或50x0.1mm线光斑 |
光学分辨率 | 1μm |
最高能量密度 | 10J/cm² |
脉冲稳定性 | ~1% |
脉冲重复频率 | 1-100Hz/1000Hz |
系统框架 | 大理石光学基座以及金属框架结构 |
机器视觉 | 同轴照明/观察，所见即所得 |
投影物镜 | 紫外超长工作距离物镜 |
X/Y轴电动平台 | 100mm x 100mm/200mm x 200mm/300mm x 300mm，±1μm重复定位精度 |
Z轴电动平台 | 25mm，±1μm重复定位精度 |
电动衰减器 | 10%-80%电动连续可调 |
控制软件 | 10%-80%电动连续可调 |
