技术特点：
1、193/248/308nm 激光器，短脉宽，高峰值功率；
2、静态气体寿命 >30 天；
3、激光器寿命 >5亿次脉冲；
4、最高能量密度10J/cm²；
5、多种光路方案，可定制；
6、同轴机器视觉示意图，所见即所得，反射/透射同轴照明；
7、X，Y位移台安装在刚性花岗岩基座上，线性驱动，±1mm精度；
8、电动焦点控制（沿 Z 轴）；
9、配有同轴和离轴相机，模式识别软件可选；
10、功能全面，易于操作的专用加工软件；
应用领域：
1、LED 蓝宝石衬底剥离；
2、薄膜选择性去除；
3、柔性屏与玻璃基板剥离；
4、微流控；
5、柔性电路板加工；
6、玻璃表面微结构；
7、MiniLED剥离；
8、MircoLED剥离巨量转移；
9、激光修复；
10、晶圆与载体激光解键合；
光束传播特点：
1、能量控制范围 10-80% ；
2、缩倍比 4x-20x ；
3、焦距 25mm~150mm；
4、目标能量密度 0.25-10J/cm² ；
Gan 外延片剥离蓝宝石基板扫描电镜分析
准分子激光传输/照明/机器视觉系统示意图
光路结构示意图
加工监控界面-所见即所得
加工控制界面-参数可调
COMPex 准分子激光器
COMPex准分子激光器是一种高效的光源，设计紧凑，易于安装和操作。在要求很高的应用中提供了优越的结果，如脉冲激光沉积 (PLD)、晶片剥离、激光剥离技术 (LLO)、固体采样 (LA-ICP-MS)、线剥离和 FBG 写入。具有陶瓷预电离，COMPex提供数百毫焦耳输出，加上无与伦比的脉冲稳定性。COMPex还配备了一个改进的气体处理器，延长了气体和光学的使用寿命。
参数： |
波长：193nm / 248nm / 308nm |
脉冲宽度：5-20ns |
单次剥离尺寸：< 0.2x0.2mm方光斑或50x0.1mm线光斑 |
光学分辨率：1μm |
最高能量密度：10J/cm² |
脉冲稳定性：~1% |
脉冲重复频率：1-100Hz/1000Hz |
系统框架：大理石光学基座以及金属框架结构 |
机器视觉：同轴照明/观察，所见即所得 |
投影物镜：紫外超长工作距离物镜 |
X/Y轴电动平台：100mm x 100mm/200mm x 200mm/300mm x 300mm，±1μm重复定位精度 |
Z轴电动平台：25mm，±1μm重复定位精度 |
电动衰减器：10%-80%电动连续可调 |
控制软件：10%-80%电动连续可调 |
