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准分子激光剥离系统

准分子激光剥离系统

Ex-Power是新一代准分子激光剥离系统。采用了高稳定性的准分子激光器作为光源,通过精密的光学系统设计,在光束传导过程中,对激光光斑进行整形和匀化,并通过专用的投影物镜,将激光均匀照射在材料表面。该系统具备结构紧凑、光斑匀化效果好、传输效率高、能量密度大等优势。将紫外准分子激光技术和高精度的机械运动系统相结合,大大提高了激光剥离的质量和效率,非常适合工艺研发和批量工业生产。

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Ex-Power是新一代准分子激光剥离系统。采用了高稳定性的准分子激光器作为光源,通过精密的光学系统设计,在光束传导过程中,对激光光斑进行整形和匀化,并通过专用的投影物镜,将激光均匀照射在材料表面。该系统具备结构紧凑、光斑匀化效果好、传输效率高、能量密度大等优势。将紫外准分子激光技术和高精度的机械运动系统相结合,大大提高了激光剥离的质量和效率,非常适合工艺研发和批量工业生产。

技术特点:

1、193/248/308nm 激光器,短脉宽,高峰值功率;

2静态气体寿命 >30 天;

3激光器寿命 >5亿次脉冲;

4最高能量密度 10J/cm²;

5多种光路方案,可定制;

6同轴机器视觉示意图,所见即所得,反射/透射同轴照明;

7X,Y位移台安装在刚性花岗岩基座上,线性驱动,±1mm精度;

8电动焦点控制(沿 Z 轴);

9配有同轴和离轴相机,模式识别软件可选;

10功能全面,易于操作的专用加工软件;


应用领域:

1、LED 蓝宝石衬底剥离;

2、柔性屏与玻璃基板剥离;

3、微流控芯片;

4、柔性电路板加工;

5、玻璃表面微结构;

6、MiniLED剥离;

7、MircoLED剥离巨量转移;

8、激光修复;

9、晶圆与载体激光解键合;


光束传播特点:

1、能量控制范围 10-80%;

2、缩倍比 4x-20x;

3、焦距 25mm~150mm;

4、目标能量密度 0.25-10J/cm² ;


准分子激光传输/照明/机器视觉系统示意图 


参数:

波长193nm  /  248nm  /  308nm
脉冲宽度5-20ns
单次剥离尺寸< 0.2x0.2mm方光斑或50x0.1mm线光斑
光学分辨率1um
最高能量密度10J/cm²

脉冲稳定性

~1%
脉冲重复频率1-100Hz/1000Hz
系统框架大理石光学基座以及金属框架结构
机器视觉同轴照明/观察,所见即所得
投影物镜紫外超长工作距离物镜
X/Y轴电动平台100mm x 100mm/200mm x 200mm/300mm x 300mm,±1um重复定位精度
Z轴电动平台25mm,±1um重复定位精度
电动衰减器10%-80%电动连续可调
控制软件10%-80%电动连续可调