1、193/248/308nm 激光器，短脉宽，高峰值功率；

2、静态气体寿命 >30 天；

3、激光器寿命 >5亿次脉冲；

4、最高能量密度10J/cm²；

5、多种光路方案，可定制；

6、同轴机器视觉示意图，所见即所得，反射/透射同轴照明；

7、X，Y位移台安装在刚性花岗岩基座上，线性驱动，±1mm精度；

8、电动焦点控制（沿 Z 轴）；

9、配有同轴和离轴相机，模式识别软件可选；

10、功能全面，易于操作的专用加工软件；

1、LED 蓝宝石衬底剥离；

2、薄膜选择性去除；

3、柔性屏与玻璃基板剥离；

4、微流控；

5、柔性电路板加工；

6、玻璃表面微结构；

7、MiniLED剥离；

8、MircoLED剥离巨量转移；

9、激光修复；

10、晶圆与载体激光解键合；

1、能量控制范围 10-80% ； 

2、缩倍比 4x-20x ；

3、焦距 25mm~150mm；

4、目标能量密度 0.25-10J/cm²  ；  

COMPex准分子激光器是一种高效的光源，设计紧凑，易于安装和操作。在要求很高的应用中提供了优越的结果，如脉冲激光沉积 (PLD)、晶片剥离、激光剥离技术 (LLO)、固体采样 (LA-ICP-MS)、线剥离和 FBG 写入。具有陶瓷预电离，COMPex提供数百毫焦耳输出，加上无与伦比的脉冲稳定性。COMPex还配备了一个改进的气体处理器，延长了气体和光学的使用寿命。

波长

193nm  /  248nm  /  308nm

脉冲宽度

5-20ns

单次剥离尺寸

< 0.2x0.2mm方光斑或50x0.1mm线光斑

光学分辨率

1μm

最高能量密度

10J/cm²

脉冲稳定性

~1%

脉冲重复频率

1-100Hz/1000Hz

系统框架

大理石光学基座以及金属框架结构

机器视觉

同轴照明/观察，所见即所得

投影物镜

紫外超长工作距离物镜

X/Y轴电动平台

100mm x 100mm/200mm x 200mm/300mm x 300mm，±1μm重复定位精度

Z轴电动平台

25mm，±1μm重复定位精度

电动衰减器

10%-80%电动连续可调

控制软件

10%-80%电动连续可调