当前位置:
准分子激光加工系统

准分子激光加工系统

微纳尺度加工,百纳米级光刻效果。掩膜版与激光直写两种模式随意切换。
0.00
0.00
  
微纳尺度加工,百纳米级光刻效果。掩膜版与激光直写两种模式随意切换。

产品型号:

       EX 系列


产品描述:

       EX 系列准分子激光微加工系统是应用于科研 / 工业领域的紫外脉冲激光微加工系统。本系列产品选用深紫外波段的准分子激光器作为加工主体,通过切断化学键方式,对高分子材料、石英、钻石等透光材料有很好的去除效果,并将热效应降至最低,使加工精度可以达到微米量级,不产生热影响区和微裂纹。本产品采用集成化软件控制,可视化窗口可以实时观测加工区域以及加工效果,所见即所得。系统全部硬件都由统一界面进行全程控制,集成度高。该产品面向工业生产和科研应用,适用于不同的应用领域,特别是在眼镜树脂镜片的防伪标识、钻石的腰线标刻、蓝宝石镜面以及其他光学镜片的标刻等方面,有很好的效果。


应用范围:

1、选择性去除聚合物;

2、微型钻开槽;

3、微流控芯片;

4、激光烧蚀进样系统;

5、选树脂镜片防伪标识;

6、选钻石、珠宝标刻;

7、光学原件微加工;

8、PCB 打孔及微加工。


特点:

1、高速加工:  本机采用小型的准分子激光器,单脉冲能量最高可达15mJ。由于激光器采用的预电离技术,脉冲宽度可以实现15~10ns,使峰值功率大大提高,具有特别高的加工速和很好的加工效果。

2、机器视觉:采用集成化软件对系统所有硬件进行控制,客户可以实现所见即所得。应用高清晰的CCD作为成像元件,并采用自动聚焦的机器视觉系统,客户可以根据软件界面所显示的区域进行加工设置,并能够直接看到加工效果。

3、集成化软件:自主研发的集成化软件,可以方便地控制系统工作参数和监控工作状态。客户可以自主设计所需加工图样,并生成加工文件。软件驱动系统硬件全自动化进行加工过程,并全程可视。

       ※  可视化变成;

       ※  用户界面友好、直观;

       ※  支持BMP、DXF、STL文件格式;

       ※  所见即所得,轨迹预览。


选配件:

1、激光器:准分子激光器(波长308、248、193、157nm可选);

2、位移台:尺寸50-2000mm,精度从精度从±75nm-10μm可选,气浮、5轴可联动;

3、掩膜版:可定制大尺寸掩膜版、动态掩膜版;

4、流水线:可定制工业流水线、机器人、机器臂。


自动聚焦:

            可定制自动聚焦、自动定位、自动对准、自动识别、图像测量等图像功能。