产品型号：

       EX 系列。

产品描述：

       EX 系列准分子激光微加工系统是应用于科研 / 工业领域的紫外脉冲激光微加工系统。本系列产品选用深紫外波段的准分子激光器作为加工主体，通过切断化学键方式，对高分子材料、石英、钻石等透光材料有很好的去除效果，并将热效应降至最低，使加工精度可以达到微米量级，不产生热影响区和微裂纹。本产品采用集成化软件控制，可视化窗口可以实时观测加工区域以及加工效果，所见即所得。系统全部硬件都由统一界面进行全程控制，集成度高。该产品面向工业生产和科研应用，适用于不同的应用领域，特别是在眼镜树脂镜片的防伪标识、钻石的腰线标刻、蓝宝石镜面以及其他光学镜片的标刻等方面，有很好的效果。

应用范围：

1、选择性去除聚合物；

2、微型钻开槽；

3、微流控芯片；

4、激光烧蚀进样系统；

5、选树脂镜片防伪标识；

6、选钻石、珠宝标刻；

7、光学原件微加工；

8、PCB 打孔及微加工。

特点：

1、高速加工:  本机采用小型的准分子激光器，单脉冲能量最高可达15mJ。由于激光器采用的预电离技术，脉冲宽度可以实现15~10ns，使峰值功率大大提高，具有特别高的加工速和很好的加工效果。

2、机器视觉：采用集成化软件对系统所有硬件进行控制，客户可以实现所见即所得。应用高清晰的CCD作为成像元件，并采用自动聚焦的机器视觉系统，客户可以根据软件界面所显示的区域进行加工设置，并能够直接看到加工效果。

3、集成化软件：自主研发的集成化软件，可以方便地控制系统工作参数和监控工作状态。客户可以自主设计所需加工图样，并生成加工文件。软件驱动系统硬件全自动化进行加工过程，并全程可视。

       ※  可视化变成；

       ※  用户界面友好、直观；

       ※  支持BMP、DXF、STL文件格式；

       ※  所见即所得，轨迹预览。

选配件：

1、激光器：准分子激光器（波长308、248、193、157nm可选）；

2、位移台：尺寸50-2000mm，精度从精度从±75nm-10μm可选，气浮、5轴可联动；

3、掩膜版：可定制大尺寸掩膜版、动态掩膜版；

4、流水线：可定制工业流水线、机器人、机器臂。

自动聚焦：

            可定制自动聚焦、自动定位、自动对准、自动识别、图像测量等图像功能。