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激光清洗系统

激光清洗系统

专业的全自动芯片PAD管脚清洗设备,稳定性好、加工质量好、成品率高、加工效率特别快。
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专业的全自动芯片PAD管脚清洗设备,稳定性好、加工质量好、成品率高、加工效率特别快。

产品型号:ZYJG-2000。


激光清洗系统产品说明:

        Ex-light是新一代准分子激光清洗系统。采用了德国Mlase超稳定的低功率准分子激光器,通过光束传导、匀化、投影技术,使激光均匀照射到材料表面,对材料进行紫外激光加工。该系统结构设计紧凑,集成度高,光路稳定实用,光斑匀化效好,传输效率高,增强样品表面激光能量密度,提高加工质量和效率。


准分子激光器:

       逐层去除、非接触式、无二次污染、无损耗。


应用行业:

        1、微电子行业:晶圆面板激光清洗、电路板清洗;

        2、OLED微型显示器芯片:芯片管脚PAD焊线前激光清洗、液晶显示器清洗;

        3、文物艺术品保护:无损还原;

        4、汽车产业:各种焊接处焊后激光清洗;

       5、其它:材料表面各种杂质、氧化物、微小颗粒物、油污去除。


技术特点:

1、DUV准分子激光器,短脉宽,高峰值功率;

2、静态气体寿命 >30天;

3、激光器寿命 >20亿次脉冲;

4、多种光路方案,可定制;

5、反射/透射照明;

6、X,Y位移台安装在刚性花岗岩基座上,线性驱动,1μm分辨率 ;

7、电动焦点控制(沿Z轴);

8、配有同轴和离轴相机,模式识别软件可选 ;

9、快速响应时间,易于操作的软件;

10、同轴机器视觉示意图,所见即所得。


光束传播特点:

1、能量控制 10-80% ;

2、投影缩倍4x-20x ,可定制;

3、工作距离>25mm;

4、目标能量密度 0.25-10J/cm² ;

5、同轴显微成像;

6、光斑匀化系统。


光路匀化介绍:微透镜阵列匀光成像示意图 

晶圆清洗监控界面-所见即所得

加工代码、路线、导航界面

准分子激光传输/照明/机器视觉系统示意图  




Mlase准分子激光器:采用德国Mlase准分子激光器作为光源,能量输出稳定,光束质量好,有较短脉冲宽度和较高峰值功率。免维护设计,使用简便、安全、稳定、高效。


软件功能:

1、图形化加工路径显示;

2、晶圆自动聚焦、自动对位;

3、大视野晶圆导航图;

4、激光参数设定及调试;

5、加工进程控制、中断自动恢复;

6、芯片参数导入;

7、坏点剔除功能;


参数:

波长

193nm /248nm

脉冲宽度

5-10 ns

单光斑加工面积

>400um x400um

光学分辨率

1um

最高能量密度

>10J/cm²

脉冲稳定性

≤2%

脉冲重复频率

1-1000Hz

系统框架

大理石光学基座以及金属框架结构

机器视觉

同轴照明/观察,所见即所得

投影物镜

紫外超长工作距离物镜

掩膜版位移台

100mm x100mm,定位精度:±1um

Z轴电动平台

50mm行程,±1μm重复定位精度

衰减器

电动可调、调节范围15%-80%

控制软件

LPCPro3D自动加工处理软件