当前位置:
飞秒激光加工系统

飞秒激光加工系统

兼容不同厂家飞秒激光器,支持多波长/多光路设计。
0.00
0.00
  
兼容不同厂家飞秒激光器,支持多波长/多光路设计。


特点:

1、兼容不同厂家飞秒激光器,支持多波长/多光路设计;

2、支持振镜扫描、物镜精细直写、分束加工;

3、兼容纳米级分辨率位移台/气浮台/压电台的运动机构;

4、兼顾宏观到米级尺寸、微观到纳米尺寸加工,以及大尺寸高精密快速加工;

5、支持2D、2.5D、3D加工,多文件格式导入及预览;

6、所见即所得机器视觉系统;

7、可进行XYZ三轴联动,配合AC轴进行五轴曲面加工,还可以配合振镜(2D、3D)进行多达8轴扫描加工,

可以增加偏振调节、能量调节作为维度,进行10轴加工;

8、支持位移台与激光器的位置同步触发PSO(PCO)功能;支持振镜与激光器的位置同步触发功能SDC;

9、支持IFOV广阔视野功能,可进行大面积无拼接误差加工。


功能:

1、一套系统兼顾增材、 减材和等材制造需求;

2、表面微-纳结构,激光诱导周期性表面结构(LIPS);

3、3D激光直写;

4、三维微纳加工、 打孔、 切割、表面成型;

5、双/多光子聚合;

6、量子芯片、光存储、透明体材料直写光波导;

7、多元材料的选择性去除、超硬及脆性材料加工;

8、双光束纳米光刻;

9、折射率改变;

10、特殊功能可定制开发。


同轴机械视图:


组成:

1、高可靠性飞秒激光(支持皮秒)光源;

2、高精度样品定位系统;

      位移台范围;小到150μm行程(压电台)、大到2m行程(定制)。

      控制器:国际主流控制器,可以实现50nm以下位置跟随误差精控,可配备压电控制器进行nm级操控。并支持位置同步触发功能,多轴联动功能。

3、定制化夹具、 真空吸附台、倾角调平装置;

4、光束传导、整形和调制(扩束、光阑和空间光调制等);

5、激光功率与偏振态控制,千分之一细分(更高可定制),精准控制能量密度,以达到损伤阈值临界值;

6、高NA加工物镜,可配备干镜、油镜、水镜、非球面镜等;

7、高分辨同轴机器视觉(可选自动对焦、自动对位);

8、大理石+面包板+结构框架+全封闭外壳;

9、控制及LPS加工软件;

10、特殊应用定制化:

        配备冷热台(最低零下40°C,最高800°C,激光原位熔化可达2500°C+)。

        生物器皿,无菌环境,真空样品室等便于生物样品加工环境。

        可配备声光调制模块,电光调制模块对光进行快速调制,可以用与LIPSS、2PP、MPP、超材料研究等应用。

        可配备波片和SLM对光进行偏振、相位调节,可进行光波导、量子芯片、涡旋光、硅光器件、光子晶体、超材料等方向研究。

        可配备贝塞尔光路,进行激光切割、打孔、焊接,探测等应用。


应用材料:

1、透明材料:玻璃、蓝宝石、融石英、晶体、光学陶瓷等;

2、非金属:聚合物、聚酰亚胺(卡普顿)、聚碳酸酯、聚醚醚酮、低密度聚乙烯、高密度聚乙烯、ABS、尼龙、BOPET、硅、碳化硅、金刚石、陶瓷等;

3、金属:不锈钢、铜、黄铜、钛、铝、钽、钼、金、银等;

4、其它:光刻胶、合金、取向性材料、掺杂材料等。