产品型号：ZYJG-2000。
激光清洗系统产品说明：
Ex-light是新一代准分子激光清洗系统。采用了德国Mlase超稳定的低功率准分子激光器，通过光束传导、匀化、投影技术，使激光均匀照射到材料表面，对材料进行紫外激光加工。该系统结构设计紧凑，集成度高，光路稳定实用，光斑匀化效好，传输效率高，增强样品表面激光能量密度，提高加工质量和效率。
准分子激光器：
逐层去除、非接触式、无二次污染、无损耗。
应用行业：
1、微电子行业：晶圆面板激光清洗、电路板清洗；
2、OLED微型显示器芯片：芯片管脚PAD焊线前激光清洗、液晶显示器清洗；
3、文物艺术品保护：无损还原；
4、汽车产业：各种焊接处焊后激光清洗；
5、其它：材料表面各种杂质、氧化物、微小颗粒物、油污去除。
技术特点：
1、DUV准分子激光器，短脉宽，高峰值功率；
2、静态气体寿命 >30天；
3、激光器寿命 >20亿次脉冲；
4、多种光路方案，可定制；
5、反射/透射照明；
6、X，Y位移台安装在刚性花岗岩基座上，线性驱动，1μm分辨率 ；
7、电动焦点控制（沿Z轴）；
8、配有同轴和离轴相机，模式识别软件可选 ；
9、快速响应时间，易于操作的软件；
10、同轴机器视觉示意图，所见即所得。
光束传播特点：
1、能量控制 10-80% ；
2、投影缩倍4x-20x ，可定制；
3、工作距离>25mm；
4、目标能量密度 0.25-10J/cm² ；
5、同轴显微成像；
6、光斑匀化系统。
光路匀化介绍：微透镜阵列匀光成像示意图 | 
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晶圆清洗监控界面-所见即所得 | 加工代码、路线、导航界面 | 准分子激光传输/照明/机器视觉系统示意图 |
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Mlase准分子激光器：采用德国Mlase准分子激光器作为光源，能量输出稳定，光束质量好，有较短脉冲宽度和较高峰值功率。免维护设计，使用简便、安全、稳定、高效。 | 
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软件功能：
1、图形化加工路径显示；
2、晶圆自动聚焦、自动对位；
3、大视野晶圆导航图；
4、激光参数设定及调试；
5、加工进程控制、中断自动恢复；
6、芯片参数导入；
7、坏点剔除功能；
参数：
波长 | 193nm /248nm |
脉冲宽度 | 5-10 ns |
单光斑加工面积 | ＞400um x400um |
光学分辨率 | 1um |
最高能量密度 | >10J/cm² |
脉冲稳定性 | ≤2% |
脉冲重复频率 | 1-1000Hz |
系统框架 | 大理石光学基座以及金属框架结构 |
机器视觉 | 同轴照明/观察，所见即所得 |
投影物镜 | 紫外超长工作距离物镜 |
掩膜版位移台 | 100mm x100mm，定位精度:±1um |
Z轴电动平台 | 50mm行程，±1μm重复定位精度 |
衰减器 | 电动可调、调节范围15%-80% |
控制软件 | LPCPro3D自动加工处理软件 |
