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准分子激光光纤光栅刻写系统

准分子激光光纤光栅刻写系统

准分子激光掩模板法可用于刻写多种光纤光栅,例如普通光栅、 强/弱阵列光栅、 啁啾光栅,特别是高功率光纤激光器用光纤光栅。光纤激光器使用一对高反射和低反射 FBG 组成谐振腔,为了获得稳定的高功率激光输出,对 FBG 的反射率、 带宽和边模抑制要求都很高,此类 FBG基本采用大模场双包层光纤,准分子相位掩模板法刻写光纤激光器专用光纤光栅对是很好的选择。
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准分子激光掩模板法可用于刻写多种光纤光栅,例如普通光栅、 强/弱阵列光栅、 啁啾光栅,特别是高功率光纤激光器用光纤光栅。光纤激光器使用一对高反射和低反射 FBG 组成谐振腔,为了获得稳定的高功率激光输出,对 FBG 的反射率、 带宽和边模抑制要求都很高,此类 FBG基本采用大模场双包层光纤,准分子相位掩模板法刻写光纤激光器专用光纤光栅对是很好的选择。

应用:

1、高性能光纤激光器;

2、弱/强反射阵列光栅;

3、周界、 安防系统的光纤传感网络;

4、铁路、 隧道、 油井等设施的安全监控;

5、航空航天、 海洋和医疗;

6、新能源电池模块温度监控;


特点:

1、高质量、高可靠性;

2、波长、带宽和反射率等参数控制精度高;

3、波长选择范围大、带宽宽窄可选;

4、高边模抑制比、损耗低;

5、可以制备用于高功率激光腔镜的光栅;

6、可根据用户需求定制;

7、可以提供温控装置,确保波长的精确对准和调谐;

8、系统搭建简单;

9、效率高,支持大批量生产;

10、系统稳定,维护成本低;

11、容易进行中心波长的调整和控制;

12、适合工业化生产;

13、容易刻写任意反射率的光栅;


总体示意图:



Mlase准分子激光器:

采用德国Mlase准分子激光器作为光源,能量输出稳定,光束质量好,有较短脉冲宽度和较高峰值功率。免维护设计,使用简便、安全、稳定、高效。


Mlase准分子激光器参数:

气体介质

ArF/KrF

波长

193nm/248nm

最大重复频率

200Hz/500Hz/1000Hz

最高单脉冲能量-标准型

8mJ/12mJ

最高单脉冲能量-高功率型

12mJ/16mJ

稳定单脉冲功率

1.2W、3W、6W/2W、5W、10W

能量稳定性

≤2%

光斑尺寸

6x3mm

光束发散角

2x1mrad

脉冲宽度

5-10ns/5-15ns

激光腔寿命

大于20亿次脉冲

制冷方式

风冷/水冷


准分子激光光纤光栅刻写系统硬件:


推荐厂家

主要指标

数量

反射镜

CVI

45° HR

3片

长程位移台

KOHZU

100mm 行程、驱动器

2套

拉力计

SHIMPO

数显、0.01N

1套

手动调整架

KOHZU

2套6轴台加光纤夹具2套3轴台

1套

机器视觉

准源定制

>500万像素

1套

光束整形模块

准源定制

三柱镜+掩模板系统

1套

衰减器

准源定制

电动10-80%

1套

切趾光阑

准源定制

定制切趾函数

1套

大理石+面包板+结构框架

准源定制

大理石龙门架结构,全封闭推拉式开启保护罩

1套

光学平台1

准源定制

1500mm

1套

光学平台2

准源定制

900mm

1套

软件

准源定制

基于win7及以上版本 

1套